当镀层的厚度或镀层的成分发生变化时，探测器接收到的X射线荧光信号会随之变化。通过建立镀层厚度和成分与X射线信号强度的关联关系，就可以分析镀层的厚度和成分。

 基本原理

 X射线荧光光谱常用于分析均匀样品中的元素成分及含量。对于大多数样品来讲，样品中被激发的各个元素的特征X射线只来自于样品表面，样品内部辐射的特征X射线被样品本身吸收了。所以，特征X射线荧光信号的强度与样品的厚度无关。这种样品称之为无限厚样品。

 如果镀层很薄，基底样品中被激发的特征X射线就会穿透镀层被探测器接收，镀层的厚薄会影响特征X射线荧光信号的强弱，镀层越厚，探测器接收到基体样品辐射出来的特征X射线荧光信号就会越弱；或者镀层样品中被激发的特征X射线全部被探测器接收，镀层的厚薄会影响特征X射线荧光信号的强弱，镀层越厚，探测器接收到镀层样品辐射出来的特征X射线荧光信号就会越强。

 当镀层的厚度或镀层的成分发生变化时，探测器接收到的X射线荧光信号会随之变化。通过建立镀层厚度和成分与X射线信号强度的关联关系，就可以分析镀层的厚度和成分。

 发射法测镀层厚度

 如上图所示，直接测量镀层样品中元素被激发出来的特征X射线荧光信号，该信号的强弱与镀层的厚度成正比，如下图所示。

 吸收法测镀层厚度

 如上图所示，测量基底样品中元素被激发出来的特征X射线荧光信号，该信号的强弱与镀层的厚度成反比，如下图所示。