1.在各种工作条件下进行精确测量
-针对高达1500 A和10 kV的功率器件特性的一体化解决方案
-具有高压偏置的中等电流测量(例如500 V,1200 V)
-μΩ导通电阻测量能力
-精确的亚皮安级别,高压偏置下的电流测量
2.广泛的设备评估功能
-电容(Ciss,Coss,Crss等)测量,最高可达3000 V DC偏压
-高功率脉冲测量,最低可达10μs
-封装器件和晶圆上IGBT / FET栅极电荷测量
-高电压/高电流快速开关选项,用于表征GaN电流崩塌效应
-最多五个高压(3 kV)源/测量通道,以实现最大的灵活性
3.提高了测量效率
-无需可重复切换即可在高压和高电流测量之间切换
-用于封装和晶圆上器件的晶体管结电容(Ciss,Coss,Crss,Cgs,Cgd,Cds等)的自动测试电路形成
-带互锁的标准测试夹具,用于安全封装的功率器件测试
-支持并确保超过200 A和高达10 kV的晶圆上高功率测试
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