【仪器名称】：霍尔效应测试仪（Hall Effect Measurement）

【设备型号】：HMS-5300

【设备厂商】：韩国ECOPIA

【仪器详情】：

霍尔效应测试仪主要用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数、导电类型等重要参数，是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性的必备工具。

HMS-5300霍尔效应测试仪主要由恒电流源、范德堡法则终端转换器、常温测量系统、低温（80K~常温）测量系统、高温（常温~573K）测量系统及固定磁场强度输入系统组成，拥有研究半导体材料霍尔效应所有的部件和配置，测试速度快，测量精度高，可重复性好。

【主要特点】：

● 恒电流源(1nA~20mA)采用六级电流范围设置，将可以接收的误差降到最低；范德堡法则转换使用非接触装置有效降低仪器噪声，具有可靠的精度及重现性

● 具有常温、液氮低温、以及高温测量系统（80~573K）

● 恒定磁场（0.556T）

● 具有多种尺寸的传统样品板及带弹簧夹片的样品板(SPCB)，使得不同尺寸不同材料的薄膜样品更容易测量

● 测试速率快，可同时测量得到体载流子浓度(Bulk carrier concentration)、表面载流子浓度(Sheet carrier concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall coefficient)、磁致电阻(Magnetoresistance)、电阻的纵横比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等参数。

【技术参数】：

● 输入电流：1nA ~ 20mA

● 电阻率：10e -5~ 10e7 Ω.cm

● 载流子浓度：10e7 ~ 10e21 cm-3

● 迁移率：1 ~ 10e7 cm2/(V.s)

● 磁场强度：0.556T

● 样品测量板：弹簧样品板

● 样品尺寸：5mm×5mm ~ 20mm×20mm，适用样品厚度：小于2mm。

● 温度范围：80 K -573K

● 磁体包尺寸：700×220×280 mm (W×H×D) / 15.5Kg

【应用领域】：

设备可广泛应用于半导体器件和半导体材料电学特性表征，精确测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数。

●测量材料：Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO(including ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO等所有半导体薄膜；

●材料导电类型判断(P型和N型)

●材料载流子浓度、迁移率、方块电阻等参数测量

●材料掺杂杂质激活能测量