主要配件和参数
四道波谱仪八块晶体（LiF/ADP、LiF/PET、RAP/LSA70、PbST/LSA200）和EDAX Genesis 能谱仪。
分析元素范围：4Be-92U；加速电压：0.2-30kV；二次电子像分辨率：6nm；有效图像观察倍数≤50000´
分析精度：好于1%(主要元素，含量>5%)和5%(次要元素，含量～1%)。
电子束流稳定性好，连续可调，样品台最小移动间距为0.01微米，重复精度好于±1mm，机械系统精密度高。
应用范围：
固体材料化学成分的定性和定量分析及微观形貌观察；
化学成分组成元素的点、线、面分析以及状态分析。
| 电子探针检测分析收费标准 | 电子探针 | ||
| 收费项目名称 | 单 位 | 所属类别 | 市场价（元） |
| 1.形貌观察SEM(BSE)/能谱EDS分析（点、线、面分析等） | 小时 | 测试费 | 360 |
| 2.形貌观察SEM(BSE)/波谱WDS分析（点、线、面、元素定量、状态分析等） | 小时 | 测试费 | 480 |
| 3.成分分析（宏观或微观均质固体未知物、异物夹杂、痕迹斑点、镀层成分等） | 样 | 测试费 | 360-600 |
| 4.单层（多层）镀层厚度分析 | 样 | 测试费 | 360-1200 |
| 5.喷金 | 台次 | 材料费 | 240 |
| 6.计量认证样品 | 样 | 测试费 | 按市场价双倍收费 |
| 7.未知物综合剖析 | 样 | 分析费 | 1800 |
| 8.常规制样(切取、打磨、抛光、镶样） | 样 | 制样费 | 240-360 |
