①系统功能：视式检查=±1mil（±0.025mm），XY位置精度/Accuracy=±0.6mil(±0.015mm）

 ②工作台参数：芯片尺寸=5mil×5mil-100mil×100mil，晶片最大角度修正=360°，分辨率=0.04mil 。

 ③图像设别系统：256级灰度，656×492像素分辨率。